➀ EUV光刻受随机效应影响，导致吸收光子数量变化，可能产生缺陷；➁ EUV系统的随机照明角度导致光子分布不均，造成图像偏移和精确光刻图案的挑战；➂ 减少pupil填充可以缓解随机失真，但会严重限制光刻系统的吞吐量。